薬液ライフタイムの向上に貢献する洗浄剤-Ex-LAL BHF

名称薬液ライフタイムの向上に貢献する洗浄剤-Ex-LAL BHF
英名Detergents Contributing to Increase in Chemical Lifetime - Ex-LAL BHF
化学式-
既存化学物質番号-
CASNo-
用途
  • 半導体・FPD製造プロセスにおけるウェットエッチングおよび洗浄工程
包装形態

-

説明
  • 薬液が蒸発することで起こるエッチングレートの経時変化を抑制できます。(ライフタイムの向上)
  • NH4F濃度を極めて低くすることで、工場の排水中の窒素負荷低減に寄与します。

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