| 名称 | 超高純度バッファードフッ酸（BHF、LL BHF、LAL BHF） |
|---|
| 英名 | Ultra High Purity Buffered Hydrogen Fluoride |
|---|
| 化学式 | NH4FとHFとの混合物 |
|---|
| 既存化学物質番号 | 1-311(NH4F)、1-306(HF) |
|---|
| CASNo | 1341-49-7(NH4HF2)、12125-01-8(NH4F) |
|---|
| 用途 |
- 半導体・FPD製造プロセスにおけるウェットエッチングおよび洗浄工程
|
|---|
| 包装形態 |
- 5kg、20kgポリエチレンボトル
- 200kgケミドラム
- 15kg、100kg、200kg圧送容器
- 1,000kg、5,500kg、10,000kg、18,000kgコンテナ
|
|---|
| 説明 | 超高純度フッ化水素酸(HF)とフッ化アンモニウム溶液(NH4F)の混合水溶液。
半導体・FPD製造プロセスでは、主に絶縁膜のエッチングや洗浄等の工程で用いられます。HF濃度とNH4F濃度を制御することで数十Å/min程度の遅いエッチレートを示す洗浄用薬液から、数千Å/min程度の早いエッチレートを示すエッチング加工用薬液まで広範囲に対応可能です。
- バッファードフッ酸(BHF)
50％HF水溶液と40％NH4F水溶液を任意の配合比でブレンドした薬液。ご要望にあわせた配合比のカスタマイズが可能です。
- LL バッファードフッ酸(LL BHF)
バッファードフッ酸に界面活性剤を添加することで、様々な機能性を実現した薬液。微細パターンでの不良率低減や、基板表面のラフネス増加の抑制、粒子付着の抑制等の効果が得られます。
- LAL バッファードフッ酸(LAL BHF)
NH4F濃度を通常品の約半分である17～20％程度に低濃度化することで組成を最適化し、長寿命化などのメリットを実現した薬液。LLバッファードフッ酸と同様に界面活性剤による高機能化を併せ持ちます。
|
|---|
| SDS |
ダウンロード
|
|---|