半導体・液晶関連

特徴・強み

北九州工場
北九州工場

半導体・液晶部門では、半導体や液晶パネルの製造工程におけるエッチング用の薬液などを手掛けています。ステラケミファの高純度薬液は半導体を製造していく上で不可欠な薬品であり、国内外でトップシェアを誇っています。

スーパーコンピュータから炊飯器や玩具に至るまで、今やありとあらゆるものに半導体が組み入れられています。その半導体の製造工程においてシリコンウェハ上のエッチング、洗浄などの重要な工程で使用されるのがフッ化水素酸。近年の微細化技術の進歩により、使用される薬品は微小なゴミや不純物を極力排した非常に高いレベルの純度が求められます。

ステラケミファは業界の常識をはるかに超越する精製技術を独自に開発・確立し、実に12N(99.9999999999%)以上の高純度精製化に成功しました。
また、半導体・電子機器産業の市場成長とともに、当社の生産能力の強化と大規模災害時を想定した製品の安定供給体制を構築するため、2014年に福岡県北九州市に新工場を設置しました。
国内2拠点、海外1拠点の生産能力は年産9万トンを超えており、国内のみならず全世界の半導体メーカー等から高い信頼を得ています。

主要な製品

『ppt』『ppq』レベルの高純度精製化に成功し、従来のフッ化水素酸の機能を飛躍的に向上させることを実現しました。

※ ppt:Parts Per Trillion (1兆分の1)
※ ppq:Parts Per Quadrillion (1000兆分の1)

半導体・FPD製造プロセスにおいて、超高純度薬液は酸化膜除去法だけでなく、粒子付着抑制、ウェハ表面ラフネス増加の抑制など、さまざまな清浄性・機能性の要求に応える、超高純度薬液各種グレードを取り扱っています。

製品名(半導体・液晶関連)用途
超高純度フッ化水素酸 半導体および太陽電池製造における、シリコンウェハのウェットエッチングおよびウェット洗浄に使用される薬液
超高純度バッファードフッ酸 50%HF水溶液と40%NH4F水溶液を任意の配合比でブレンドした薬液
LALバッファードフッ酸 NH4F濃度を通常品の約半分である17~20%程度に低濃度化することでシリコン酸化膜との反応を最適化、界面活性剤を加えて処理する基板に対する濡れ性を向上させることでエッチング・洗浄を均一化、薬液ライフの長寿命化などのメリットを実現した薬液