半導体・液晶・太陽電池関連

超高純度フッ化水素酸

  • 半導体・太陽電池製造における、シリコンウェハのウェットエッチングおよびウェット洗浄
  • 液晶ディスプレイなどのFPD(Flat Panel Display)製造工程
  • 水晶振動子(クォーツ振動子)の製造工程

超高純度バッファードフッ酸(BHF、LL BHF、LAL BHF)

  • 半導体・FPD製造プロセスにおけるウェットエッチングおよび洗浄工程

HGシリーズ

  • アルミニウムのエッチングを抑制したシリコン酸化膜のエッチング液