超高純度バッファードフッ酸(BHF、LL BHF、LAL BHF)

名称超高純度バッファードフッ酸(BHF、LL BHF、LAL BHF)
英名Ultra High Purity Buffered Hydrogen Fluoride
化学式NH4FとHFとの混合物
既存化学物質番号1-311(NH4F)、1-306(HF)
CASNo1341-49-7(NH4HF2)、12125-01-8(NH4F)
用途
  • 半導体・FPD製造プロセスにおけるウェットエッチングおよび洗浄工程
包装形態
  • 5kg、25kgポリエチレンボトル
  • 200kgケミドラム
  • 15kg、100kg、200kg圧送容器
  • 1,000kg、5,500kg、10,000kg、18,000kgコンテナ

説明

超高純度フッ化水素酸(HF)とフッ化アンモニウム溶液(NH4F)の混合水溶液。
半導体・FPD製造プロセスでは、主に絶縁膜のエッチングや洗浄等の工程で用いられます。HF濃度とNH4F濃度を制御することで数十Å/min程度の遅いエッチレートを示す洗浄用薬液から、数千Å/min程度の早いエッチレートを示すエッチング加工用薬液まで広範囲に対応可能です。

  • バッファードフッ酸(BHF)
    50%HF水溶液と40%NH4F水溶液を任意の配合比でブレンドした薬液。ご要望にあわせた配合比のカスタマイズが可能です。

  • LL バッファードフッ酸(LL BHF)
    バッファードフッ酸に界面活性剤を添加することで、様々な機能性を実現した薬液。微細パターンでの不良率低減や、基板表面のラフネス増加の抑制、粒子付着の抑制等の効果が得られます。

  • LAL バッファードフッ酸(LAL BHF)
    NH4F濃度を通常品の約半分である17~20%程度に低濃度化することで組成を最適化し、長寿命化などのメリットを実現した薬液。LLバッファードフッ酸と同様に界面活性剤による高機能化を併せ持ちます。
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