高純度35%ケイフッ化水素酸

名称高純度35%ケイフッ化水素酸
英名High-Purity Fluorosilicic Acid 35%
化学式H₂SiF₆
既存化学物質番号1-316
用途

半導体製造用薬液

包装形態

1kg、20kgポリエチレンボトル

説明

本製品は、金属不純物をppbレベルまで低減した電子工業グレードの高純度ケイフッ化水素酸です。デバイスの微細化が進む半導体製造プロセスにおいて、反応速度や選択性の調整剤、形状制御剤など様々な用途でお使いいただけます。

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