超高純度フッ化アンモニウム溶液

名称超高純度フッ化アンモニウム溶液
英名High-Purity Ammonium Fluoride Solution
化学式NH₄F
既存化学物質番号1-311
用途
  • 半導体製造工程におけるウェット洗浄
  • 半導体製造工程における機能性洗浄薬液などの原料
包装形態
  • 5kg、20kgポリエチレンボトル
  • 200kgケミドラム
  • 100kg圧送容器
  • 18,000kg コンテナ
説明

半導体はますます微細化・高機能化が進んでおり、高度な製造プロセスが用いられるようになってきています。その中で洗浄工程の重要性も高くなってきています。当社は半導体シリコン洗浄に使用される高純度フッ化水素酸を上市しておりますが、その高い精製技術を活用し、半導体製造工程で使用される機能性薬液の原料として使用される高純度フッ化アンモニウム溶液を取り扱っております。

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