HGシリーズ

名称	-
英名	-
化学式	-
既存化学物質番号	-
CASNo	-
用途	アルミニウムのエッチングを抑制したシリコン酸化膜のエッチング液
包装形態	-
説明	【特徴】アルミ配線を腐食することなくシリコン酸化膜のエッチングが行えます。シリコン酸化膜に対するエッチレートの調整が可能です。フォトレジストにダメージは与えません。【効果】　図　アルミニウム膜を各薬液で1分間浸漬した後の表面イメージ
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