HGシリーズ

名称-
英名-
化学式-
既存化学物質番号-
CASNo-
用途
  • アルミニウムのエッチングを抑制したシリコン酸化膜のエッチング液
包装形態

-

説明

【特徴】

  • アルミ配線を腐食することなくシリコン酸化膜のエッチングが行えます。
  • シリコン酸化膜に対するエッチレートの調整が可能です。
  • フォトレジストにダメージは与えません。

【効果】
 図 アルミニウム膜を各薬液で1分間浸漬した後の表面イメージ

pr-cat1-03-img1.png

SDS ダウンロード

関連製品

製品に関するご質問・お問い合わせはこちらお気軽にお問い合わせください

お電話からお問い合わせ

  • 大阪06-4707-1515
  • 東京03-3242-1131

営業部 9時~17時40分(土・日・祝日・当社指定の休業日を除く)

メールフォームからお問い合わせ